Efek doping Al pada sifat optik dan listrik lapisan tipis ZnO hasil deposisi dengan DC sputtering

Sri Yani Purwaningsih, Karyono Karyono, Sudjatmoko Sudjatmoko

Abstract


Telah dilakukan deposisi lapisan tipis ZnO didoping Al (ZnO:Al) pada substrat kaca dengan DC sputtering. Struktur kristal lapisan dikarakterisasi dengan difraksi sinar-X (XRD). Hasil XRD menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al yang terdeposit pada substrat kaca adalah polikristal yang terorientasi dengan sumbu-c tegak lurus pada permukaan substrat. Orientasi kristalografi dipengaruhi oleh suhu substrat dan konsentrasi doping Al2O3.
Sifat optik lapisan diukur dengan spektrofotometer UV-Visible pada suhu kamar, hasilnya menunjukkan bahwa transmitansi rata-rata lapisan adalah 85,5% dalam rentang panjang gelombang (350∼1100) nm. Indeks bias lapisan yang diperoleh meningkat dengan bertambahnya konsentrasi doping Al2O3 dan menurun pada konsentrasi 3%. Sifat listrik lapisan tipis ZnO:Al ditentukan dengan metode I-V, dan hasilnya menunjukkan bahwa resistivitas listrik sebesar (108± 4) × 10−6 m telah diperoleh pada konsentrasi doping Al2O3 2%.

Keywords


sputtering; ZnO:Al; XRD; sifat optik dan sifat listrik

Full Text:

PDF

References


M. Komuna, Film Deposition by Plasma Techniques

(Springer-Verlag, New York, USA, 1991).

M. Ohring, The Materials Science of Thin Films (Academic

Press Inc, Harcourt Brace Jovanovich, Boston, 1992).

F. C. M. V. D. Pol, J. Ceramic Bulletin 69, 741 (1990).

W.Wilson, Study of Transparent Conducting ZnO Grown by

Metalorganic Chemical Vapor Deposition and Its Applications

to Amorphous Silicon Solar Cell (Dissertation, Tokyo Institute of Technology, Japan, 1994).

K. Wasa and S. Hayakawa, Handbook of Sputter Deposition

Technology, Principles, Technology and Applications

(Noyes Publications, Osaka, Japan, 1992).

T. Minami, Appl. Phys. Lett. 41 (1982).

M. K. Puchert, J. Applied Physics 14 (1996).

K. L. Chopra, Thin Solid Films 280, 20 (1996).

M. Jin, Thin Solid Films 357 (1999).




DOI: http://dx.doi.org/10.12962/j24604682.v1i1.1001

Refbacks

  • There are currently no refbacks.


Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International License.