Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies Bermuatan Tunggal untuk Studi Aplikasi Proses PIII*
Abstract
Telah dipelajari sebuah model sheath dinamis plasma multispesies tanpa tumbukan untuk studi Plasma Immersion Ion Implantation (PIII). Model ini ditentukan berdasarkan pada massa efektif yang merupakan fungsi dari komposisi dan massa ion. Massa efektif ini digunakan untuk menentukan ekspansi sheath dinamis, rapat
arus ion implan total, doses implan dan komponen doses ion implan. Hasil dari model ini dianalisis dengan menggunakan contoh plasma Ar-He.Model sheath dinamis ini dapat memberikan kemudahan untuk mengevaluasi proses PIII dan mendapatkan doses implan yang benar untuk plasma dengan spesies-spesies ion yang berbeda.
arus ion implan total, doses implan dan komponen doses ion implan. Hasil dari model ini dianalisis dengan menggunakan contoh plasma Ar-He.Model sheath dinamis ini dapat memberikan kemudahan untuk mengevaluasi proses PIII dan mendapatkan doses implan yang benar untuk plasma dengan spesies-spesies ion yang berbeda.
Keywords
sheath dinamis; plasma multispesies; muatan tunggal; massa efektif
Full Text:
PDFReferences
J. R. Conrad, J. Appl. Phys., 62, 777 (1987)
M. A. Lieberman, J. Appl. Phys., 66, 2926 (1989)
J. T. Scheuer, M. Shamim and J. R. Conrad, J. Appl. Phys., 67,
(1990).
R.A. Stewart and M.A. Lieberman, J. Appl. Phys., 70, 3481
(1991).
S. Qin, Z. Jin and C. Chan, J. Appl. Phys., 78, 55 (1995)
DOI: http://dx.doi.org/10.12962%2Fj24604682.v2i1.980
Refbacks
- There are currently no refbacks.