Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies dengan Memperhitungkan Keadaan Muatan Ganda dan Tegangan Realistis

Abstract

Telah dipelajari sebuah model sheath dinamis plasma multispesies tanpa tumbukan untuk studi Plasma Immersion Ion Implantation (PIII). Model ditentukan berdasarkan pada massa efektip, yang merupakan fungsi dari komposisi spesies, massa dan keadaan muatan ion-ion spesies. Massa efektif digunakan untuk menentukan
ekspansi sheath, arus ion implan, doses implan dan komponen doses ion. Pulsa tegangan yang digunakan lebih realistik, sesuai seperti keadaan yang ada didalam eksperimen PIII. Akibat penggunaan pulsa tegangan realistis, gambaran fisis dari ekspansi sheath dan rapat arus ion yang hampir spontan pada penggunaan tegangan kotak,
berubah menjadi ekspansi sheath dan rapat arus ion tak homogen secara gradual.Hasil dari model ini dianalisis dengan menggunakan contoh plasma Ar-He [Ar+, Ar++ dan He+].