Pengaruh Optis Kontak Belakang terhadap Parameter Optis Lapisan a-Si:H

Ismail Ismail; Eddy Yahya

doi:10.12962/j24604682.v8i2.867

Pengaruh Optis Kontak Belakang terhadap Parameter Optis Lapisan a-Si:H

Ismail Ismail, Eddy Yahya

Abstract

Lapisan a-Si:H dideposisikan dalam substrat corning gelas eagle XG di PECVD dengan parameter deposisi: temperatur substrat 270C, tekanan 530 mTorr, laju aliran silan SiH4 20 sccm, aliran hidrogen 70 sccm dalam waktu 30 menit, diperoleh ketebalan lapisan sekitar 437,2 nm. Kontak belakang Al, Ag, Al/Ag dideposit dalam evaporator MVSystem dengan tekanan vakum 5,0.10−6 torr, sekitar (5 - 10) detik. Plot grafik menggunakan pengukuran data transmisi dari sampel dengan monokromator pada panjang gelombang 400-750 nm pada kisaran 10 nm dalam temperatur kamar 28,5C. Sampel diukur dengan mengkondisikan sudut datang dan sudut bias mendekati normal (i r 0). Peningkatan faktor optis m a-Si:H/Al=1,563 - 1,635, m a-Si:H/Ag = 1,584 - 1,616, dan m a-Si:H/Al/Ag = 2,932 - 3,016. Pengaruh kontak belakang f(RB) a-Si:H/Al = 1,1531 - 1,1581, f(RB) a-Si:H/Ag = 1,1552 - 1,1603, f(RB) a-Si:H/Al/Ag = 1,1573 - 1,1625. Pengumpulan muatan model optis QE a-Si:H/Al = 0,8361 - 0,8723, QE a-Si:H/Ag = 0,8362 - 0,8739, QE a-Si:H/Al/Ag = 0,8387 -
0,8755.

Keywords

pengaruh kontak belakang; faktor peningkatan optis; lapisan a-Si:H

Full Text:

PDF

References

J. Bartl, M. Baranek, Measurement of Physical Quantities 4, 31 (2004).

R. Swanepoel, J. Phys. E: Sci. Instrum, 16, 1214 (1983).

N.A. Bakr, et al., PRAMANA-journal of physics IndianAcademy of Sciences, 76, no.3, March (2011).

C. Hsu, et al., Nano Res, 3, 307 (2010).

N. Pimpabute, et al., Optica Applicata, XLI, no.1, 3 (2011).

B.M. Curtin, Photonic crystal back-reflectors for light management and enhanced absorption in a-Si:H solar cells, Thesis M.Sc, Iowa State University Ames, Iowa, 2009.

K. Takahashi and M. Konagai, Amorphus silicon solar cell (Original Japanese language edition, Shokodo Ltd.,Tokyo, 1986).

A. Luque, and S. Hegedus, Handbook of Photovoltaic Science and Engineering (2nd edition, John Wiley & Sons, Inc., New York, 2011).

R. Kaplan, and B. Kaplan, Turk J. Phys. TUBITAK, 26, 363

(2000).

B.W. Lewis, Silica Nanosphere Textured Back Reflectors for Increased Absorption in Thin Film Amorphous Silicon Solar Cells, Thesis M.Sc., Iowa State University Ames, Iowa, 2010.

DOI: http://dx.doi.org/10.12962%2Fj24604682.v8i2.867